準(zhǔn)分子激光器：CLS 5000
準(zhǔn)分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器，由于波長(zhǎng)短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應(yīng)用上，準(zhǔn)分子激光器在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導(dǎo)的地位。
CLS 5000技術(shù)參數(shù):
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激光介質(zhì) |
ArF |
KrF |
XeCl |
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波長(zhǎng) (nm) |
193 |
248 |
308 |
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最大脈沖能量 (mJ) |
15 |
25 |
12 |
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最大重復(fù)頻率 (Hz) |
1100 |
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最大平均功率 (W) |
14 |
25 |
12 |
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脈沖能量穩(wěn)定度(sigma, %) |
< 2 |
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光斑尺寸 (VхH, mm) |
12 х 3.5 |
12 х 4 |
12 х 4 |
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光束發(fā)散角(FWHM, mrad, VхH) |
2 х 1 |
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脈沖持續(xù)時(shí)間 (FWHM, ns) |
10 – 12 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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重量 (kg) |
85 |
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尺寸 (LхWхH, mm) |
890 х 340 х 460 |
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電源 |
220 V, 50-60 Hz, < 1000 VA |
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可選功能和附件：
可能配置1000和2000赫茲
CLS 5000主要特點(diǎn)：
非常高的光束指向穩(wěn)定性
高重復(fù)頻率
能量穩(wěn)定性好
設(shè)計(jì)緊湊
內(nèi)置能量控制
帶磁轉(zhuǎn)換發(fā)生器
應(yīng)用：
布拉格光柵
無掩膜光刻
準(zhǔn)分子材料加工
激光視力矯正
關(guān)于OptoSystems公司：
OptoSystems公司雇員超過40人，最重要的產(chǎn)品是準(zhǔn)分子激光器。同時(shí)OptoSystems公司還開發(fā)出準(zhǔn)分子激光器視力屈光矯正系統(tǒng)（LASIK），該系統(tǒng)已經(jīng)獲得中國(guó)政府頒發(fā)的銷售許可證，并有數(shù)臺(tái)已經(jīng)在中國(guó)安裝。OptoSystems公司的產(chǎn)品線還包括脈沖CO2激光器，YAG激光器等。
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